可搬型でありながら，従来の卓上型蛍光X線分析装置と同等以上の性能を有する蛍光X線分析装置を開発した。特にRoHS分析市場に注目し，近年濃度管理が求められ始めている元素の高感度測定を実現した。ピーク分離のアルゴリズムを見直して，As/Pbのピーク分離精度を向上させた。またX線管ターゲットとして，従来採用していたRhでなく，Pdを採用することで，大気中の環境下でもClの高感度測定を実現した。本報告では，ハードウェア，ソフトウェア，アルゴリズムの各要素断面から高感度化について論ずる。
We have developed a portable XRF which has almost same performance as conventional desktop XRF. RoHS, soil and particulate matter are typical application examples for rapid and accurate analysis with portable XRF. Detection limits of several ppms have been achieved with Pb, As, Cd, Br, Se and Hg in plastics and soil. New developed optics has achieved highly accurate and rapid measurement. In addition, new spectrum processing method has reduced the effect of overlaps between peaks. Detail of new developed optics and spectrum processing method are presented.