エステックの製品・技術の流れ

原 清明* | |   26

*株式会社エステック

株式会社エステックは公害測定機器の目盛り統一を事業目的として1974年に設立されたスタンダードテクノロジーをルーツとしている。設立以来、当社は気体・液体の流量計測や制御をコア・テクノロジーとして発展し、特に半導体産業向けにマスフローコントローラを製品化してからはその優れた性能と安定性が世界中から高く評価されている。本稿ではエステックの製品と技術の流れと共に、マスフローコントローラの最新動向を紹介する。