バブリング方式による大容量液体材料気化装置の開発 －気泡粒径と液体温度分布の制御による高精度化－

太陽電池の急速な市場拡大と生産量の増加に伴い，より安定した大容量の材料供給が求められている。太陽電池の製造には，常温で液体状態の物質が多く用いられガス化して製造プロセスへ導入される。本気化装置は，バブリング方式を用い，バブリング時の気泡粒径を1 mmに制御かつ液体の加熱構造を最適化することにより，100 Lの液体を加熱・気化することを可能にしている。本気化装置について実験結果をまじえ解説を行い，液体気化の技術を紹介する。