プレッシャーインセンシティブ対応マスフローモジュール －SEC-Z700シリーズ－

半導体製造装置のガス供給ラインにおいてはコスト削減，集積化を目的にラインレギュレータ，圧力センサ，フィルタが削減されたシステム構成が増加している。堀場エステックでは，このようなシステム構成にも対応できる流量制御機器としてSEC-Z700シリーズを開発した。本稿では実流量の高精度化，全設定流量に対する高速応答性能，圧力変動に対する制御性の向上，ガス制御システムの突発的なダウンを未然に防ぐモニタリング機能，ユーザサイドで容易に仕様変更できるコンフィグレーションソフトについて紹介する。