小型静電容量式圧力センサ

多機能化・高度化・複雑化された現代の工業製品において，物理現象や状態を取り込み信号変換するセンシング技術は，最も基本的で重要な技術の一つと言える。その中でも，多くのガスや液体をコントロールして行う半導体/FPD/LED/太陽電池パネル製造プロセスでは，圧力センサは必要不可欠な構成要素である。堀場エステックではマスフローコントローラをはじめとする各種流量・圧力制御機器に搭載可能な小型で低コスト，高信頼性の静電容量式圧力センサを開発した。