量子カスケードレーザと独自の濃度演算手法を用いたガス分析技術「IRLAM」の開発 ~高感度・低干渉・高速応答ガス分析の実現~

渋谷 享司* | |   技術論文

*株式会社堀場製作所

HORIBAが新たに開発した量子カスケードレーザ(QCL)を用いたガス分析手法,赤外レーザ吸収変調法(IRLAM)は,サンプルガスの吸収信号から,濃度定量に重要な情報を,特徴量として抽出して演算を行うことで,従来のスペクトルフィッティング手法に比べ,劇的に演算時間を短縮することができる。この独自の濃度演算アルゴリズム(特許登録済)を自社製造のQCLと小容量で長い光路長が得られる独自構造のヘリオットセルと組み合わせることで,高感度で干渉ガス影響に強く,高速に測定が可能なガス分析計を完成させた。IRLAMは,QCLを用いたガス分析の産業適用範囲を大きく広げることに成功し,世界初のQCLを用いた車載排ガス計測装置を実現し,石油化学プロセスのリアルタイム監視などに適用されている。