赤外線ガス分析計と赤外線多層膜干渉フィルタ

*株式会社堀場製作所

最近の赤外線ガス分析計において、より微量、高い安定性、高い選択性、多成分同時分析を実現するために、干渉フィルタの果たす役割が益々重要となっている。本報告では、干渉フィルタの基本的な特性と最近のNDIRにおける干渉フィルタの役割を中心に述べ、新たな視点からMDIRを提唱するものである。