回転形干渉計の機構と制御

*株式会社堀場製作所

フーリエ変換赤外分光光度計(FT-IR)に使用される新しい干渉計として従来にはなかった光路差発生方式である回転形干渉計を開発した。干渉計の駆動用アクチュエータとして圧電アクチュエータを使用し、その制御系にはILQ法を適用して最適サーボ系を構成した。ここでは回転形干渉計の構造と制御系の詳細について言及し、回転形干渉計が使用されたFT-200によるサンプルの測定例を紹介する。