エネルギー分散形軽元素X線検出器

*株式会社堀場製作所

近年、電子顕微鏡に組み合わせたエネルギー分散形X線分析装置による元素分析においては、酸素・窒素・炭素等の軽元素分析が広く行われている。本稿では、エネルギー分散形X線分析装置に使用する軽元素用シリコン検出器について述べた。堀場製作所では、ターレット形(検出窓切り換え方式)および耐大気圧窓形(単一窓方式)の2種類の軽元素検出器を製品化しており、それぞれの機構・特長とともにその応用例について紹介した。