*株式会社堀場製作所
固体・粉体・液体などあらゆる形態の試料に含まれる元素の量を、非破壊でしかも標準試料を用いることなく極めて容易かつ高精度で分析することができるエネルギー分散形蛍光X線分析装置MESA-500を開発した。本装置は、永年培ってきたハード/ソフト技術を駆使して、誰でも簡単に、X線スペクトル・自動定性・スタンダードレス定量などの高精度分析情報を入手することを可能にした極めてコンパクトな卓上形蛍光X線元素分析装置である。本稿では測定されたスペクトルデータから蛍光X線の強度を算出するスペクトル処理方法、基礎パラメータ法によるマトリックスの補正方法などどのようにして高精度の定量分析を実現したかについて報告する。