*株式会社堀場製作所
快適で安全な生活空間を提供する各種センシングデバイスへの要求は、信頼性はもとより高感度・高機能・高速応答など多岐にわたっている。当社では多年にわたり培ってきた単結晶育成・真空蒸着などの赤外線技術を駆使し、焦電効果を利用した赤外線センサを開発、人体検知用として販売するとともに非分散形赤外線ガス分析計をはじめ各種の計測機器に搭載し種々な分野でご使用頂いている。本稿では機能材料としてチタン酸ジルコン酸鉛(Lead Zirconate Titanates:PZT)系強誘電体セラミックスを使用した焦電形赤外線センサの原理や構造を述べ、当社の高感度化・高機能化への取り組みの一端を紹介する。