赤外線ガス分析計を支える高機能赤外線多層膜フィルタ

石田正彦* | |   技術論文

*株式会社堀場製作所

永年にわたる当社の赤外線ガス分析計を支えてきたキーコンポーネントに赤外線多層膜干渉フィルタがある。この高機能赤外線多層膜干渉フィルタの温度特性をはじめとした基礎的なパラメータを詳細に報告するとともに、このキーコンポーネントが当社の赤外線ガス分析計の高性能をいかにして支えているかを述べる。これにより先に筆者が既報(Readout,1,p47(1990))で提唱したMDIR(Moderate Dispersive Infrared Analyzer)の詳細な例証の1つとしたい。