エネルギー分散形X線分析装置の相分析機能の鉱物と微粒子解析への応用

*株式会社堀場製作所

物質の組成ごとの元素の分布状態を容易に測定・解析できる「相分析」機能を持ったエネルギー分散形X線分析装置(EMAX-5770XRP)を開発した。本稿では鉱物試料測定・解析の実例をもって相分析機能を解説する。さらに相分析をクリーンルーム内部の微粒子の解析・評価法として導入することにより、半導体製造プロセスの歩留まり向上のための管理システム構築へと発展できる事例を紹介する。