レチクル/マスク異物検出装置と動作原理

*株式会社堀場製作所

半導体市場は4MDRAMから16MDRAMへ、さらに昨今は64MDRAMのサンプル出荷も始まりますます高集積化が進んでいる。これは露光技術他多くの技術革新がなされてきたからだが、その1つに異物検査能力の向上がある。本稿ではレチクル/マスク上異物の検出技術と装置の現状と今後の方向性について述べる。