HORIBAの半導体プロセス計測関連製品と技術

*株式会社堀場製作所

目覚ましい情報化社会進展の原動力となっている半導体業界では、より高付加価値で安価な製品提供のためにさまざまな技術開発・設備投資が行われている。特にメモリデバイスを中心として生産効率を高めるためのインライン計測・評価機器への要望は大きい。本稿では堀場製作所と関連会社の半導体プロセスの計測・評価に関連する製品・技術を紹介し、さらに今後の方向性について述べる。