*Los Alamos National Laboratory
共焦点型微小部蛍光X線は、材料評価のための新しい機器測定法である。共焦点のジオメトリでは、励起領域と検出領域が同じ焦点位置で重なり、従って同じ焦点スポットを共有している。この共焦点配置は、2つのポリキャピラリすなわちX線を焦点スポットに集光するポリキャピラリと、焦点スポットから発生するX線を集光する検出器側のポリキャピラリによって実現している。共焦点ジオメトリの利点は、測定体積をx、y、z軸方向に走査できることと、その結果3次元元素分布を描けることである。本稿では共焦点型微小部蛍光X線顕微鏡の性能とその応用の可能性を示す。