高感度小型蛍光X線分析

*京都大学大学院

蛍光X線分析法は超小型X線管によっても幾何学配置・前処理・全反射などの工夫によって高感度分析が達成できる。本稿では、筆者の研究室で開発中の高感度小型蛍光X線分析法を中心に関連X線要素技術について概観する。焦電結晶X線源で0.1ppm Crの分析が可能であり、1.5 Wの空冷ミニチュアX線管を全反射蛍光X線に用いると絶対原子数で3×10¹³原子の定量下限を実現した。