質量流量計（MFC） における薄型化への取り組みを紹介する。MFCのスリム化は，機能部品の寸法の見直し，内容積を削減する事でMFCを小型化するだけでなく，省エネルギー化，高性能化および軽量化等，トータル的なコストソリューションへも繋がる。それらは半導体プロセスガス制御における新たなニーズに対して有用であると考えている。
I introduce the efforts of miniaturization of the mass flow controller. It also leads to cost reduction solution and energy saving solutions, and high performance by reducing the unnecessary part. It is thought to be useful for new needs in the semiconductor process gas control. I introduce development of thinner mass flow controller which is main product of HORIBA STEC.