高周波グロー放電発光分析法は，近年めっき・熱処理・蒸着・スパッタなど表面処理された材料の深さ方向元素分析として，アプリケーションが広がってきている。特に高周波電源を用いたnmレベルまでの深さ方向分解能，各種冶具を用いた非平面試料への適用，嫌気試料への適用，アルゴンに酸素を混合したガスによる有機複合膜材料の分析，また表面処理手法としてのアプリケーション，高分解能質量分析計を搭載した分析手法としての広がりについて述べる。
Recently, the depth analysis of surface treatment material, such as plating and heat treatment, vapor deposition, sputtering, radio-frequency glow discharge optical emission spectrometry, has been spread application. Some application for non-planar sample using high resolution, various jigs up nm level using a radio frequency power, particularly application to anaerobic samples Further analysis of the organic composite film material by gas mixed with oxygen in argon This paper describes the spread of the analysis method information of the elements other than the installed application as a processing method, a high resolution mass spectrometer can also be analyzed