Introduction of the New Application of the Peripheral Technology of Electron Microscopy
近年，測定対象物の微細化が進み，それに応じて高空間分解能での分析計測技術が求められている。電子顕微鏡を使った分析手法の代表例として，元素分析が可能なEDXが挙げられるが，高空間分解能での元素分析の実現が求められており，様々な工夫がされている。また，もう一つの電子顕微鏡を用いた手法として，試料の結晶構造や結晶方位の解析が可能なEBSDがある。この手法についても，近年，注目されてきており，材料の構造解析に広く使われるようになりつつある。本稿では，高空間分解能でのEDX分析事例，および，EBSD技術とEDX技術の複合分析事例に関して報告を行う。
The Energy Dispersive X-ray spectroscopy (EDX) with electron microscopy is one of standard elemental analysis method. Analytical technology with high special resolution is strongly required, recently, because of the nano/sub-micro scale characterization is very important information for the development of the nano structures/devices. In addition, Electron BackScatter Diffraction (EBSD) with scanning electron microscopy also becomes the one of important analysis method for material structure. This method is a technique for obtaining crystallographic information from samples in the scanning electron microscope. In this paper, we report the EDX result of the ultra-high special resolution using in-lens SEM and STEM and the combined analysis result between EDX and EBSD.