HORIBA STEC, Co., Ltd. Kyoto Fukuchiyama Technology Center
堀場エステック 京都福知山テクノロジーセンター（Figure 1）は京都本社，米国に次ぐ3番目の開発拠点として2013年12月に竣工した。主な業務は主力製品であるガスマスフローコントローラ（MFC）の流量トレーサビリティの自社内での確立，実ガス流量の測定および液体マスフローコントローラの流量測定，気化装置を用いた液体材料気化試験などである。堀場エステックの流体計測・制御機器は半導体製造装置を始め，太陽電池製造装置，LED製造装置，FPD装置などで広く使用されている。特に半導体製造装置においては半導体デバイスの微細化，高集積化に伴い，用いられるガス，液体材料の供給量の高精度化，信頼性の向上の要求が高まりつつある。材料の供給量の高精度化のためには，MFCの高性能化，再現性の向上は必要不可欠であるが，同様に調整に用いられる高精度なデータの整備が重要である。京都福知山テクノロジーセンターでは各種法律を順守した最新の設備を整備し，あらゆる材料の高精度な試験を可能にしている。これら試験データを製品に反映させることにより，堀場エステック製品の性能向上，信頼性向上に努めている。本稿ではガス，液体の流体計測分野での京都福知山テクノロジーセンターでの取組みについて紹介する。