－半導体センサー技術の遷宮－
Establishment of HORIBA Advanced Technology Center —“Sengu” of Semiconductor Sensor Technology
HORIBAグループは，気体，液体，固体の分析・制御を行う装置機器メーカであり，様々な製品をお客様に提供している。この分析・制御を行うためのキーコンポーネントは，できるだけ内製することを心がけ，今日に至っている。近年，分析・制御装置としては，より高感度化，高速化の要求と，より小型化の要求が著しくなっている。特に小型化は，装置機器の省エネルギー化・省資源化のためや，プロセス装置などに組込んでin-situ計測するためで，従来は制御することが困難であった分野への分析用途の拡大につながる技術となっている。これらの分析機器の小型化の実現のためには，分析機器の心臓部のセンシング部の小型化・集積化が必要
となる。