*株式会社堀場製作所
工業製品の製造プロセスにおける低コスト化・高品質化を目的とした自動化・省力化が進んでいる。具体的にはインラインやオンラインで分析することにより，人件費の低減や，今までは抜き取り検査であったために検査数が限られていたものを全数化することが要求されるようになっている。蛍光X線分析は非破壊・非接触で元素分析ができる分析手法であり，今まで主に実験室で使われてきたが，Roll to Rollプロセスにおけるインライン膜厚測定や，石油・めっき液・排水中などに含まれる元素のオンライン測定などへの活用が拡大している。本報告ではインライン・オンラインの実際の測定例について報告する。
