相分析機能を応用した不均一な金属試料のX線定量分析の精度向上

*株式会社堀場製作所

従来、組成が不均質な試料の定量分析は電子プローブマイクロアナライザ(EPMA)で行うことは困難であった。堀場製作所が開発したエネルギー分散形X線分光法(EDX)の相分析機能を応用し、より簡単で正確な定量分析方法を考案した。本稿ではこの手法および実測例について紹介する。

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