高精度広域帯ガス分割器

平井仁史* | |   技術論文

*株式会社堀場製作所

エンジンが急速に低エミッション化する近年ではより高精度なエンジン排ガス測定装置が望まれており、HORIBAはエンジン排ガス測定装置MEXA-7000を製品化した。分析精度を左右する要因の1つとして濃度目盛校正用検量線の適正な維持管理がある。我々はMEXA-7000の開発と同時に高精度な検量線を作成するためのマスフローコントローラを使った高精度ガス分割器(GDC-703)を開発・製品化した。GDC-703は発生流量4.0l/m、最大分割比1/500の性能を持っている。本稿ではGDC-703の動作原理・機能さらに分割精度の検証結果について紹介する。