*株式会社堀場製作所
SI-1200は最大300mm(12インチ)までのシリコンウエハの平坦度を0.006μmの高い精度で評価するウエハフラットネス測定装置である。近年、シリコンウエハの高品質化・大口径化が求められているが、特に平坦度の良否はデバイスの高集積化とあいまって不良品の発生率を左右する重要なファクタとなっている。SI-1200は独自の光学技術と画像処理技術を駆使し、測定感度0.006μm、繰り返し再現精度0.01μmを実現した。また、自在型ハンドリングロボットと高速データ処理により300mmウエハ1枚当たり約1分と高いスループットを実現した。