オリフラ合わせ機 WA-8S

*エス・ジーインスツルメンツ株式会社

WA-8Sはシリコンウエハの加工や検査などの工程においてオリフラ･ノッチの位置決め、センタ出しを高速に行う装置である。ウエハプロセス機器への組み込みを考慮し、コンパクトな形状でウエハのロボット搬送に適した設計になっている。またウエハの表面およびエッジ部分に対して非接触で位置決めできるため、汚染や損傷の心配がない。ウエハの平坦度測定の前処理やレーザーマーキングなどの位置決めに最適です。