*株式会社堀場製作所
PLCA-800は半導体プロセスで用いられるさまざまな液体中の微粒子を連続的に測定･監視するためのインライン･パーティクルセンサである。 PLCA-800は高出力半導体レーザの散乱光を測定することにより、液体中の最小0.2μmまでの微粒子を連続して安定に検知することができる。半導体デバイスは、純水や薬液／レジストなどの微粒子が存在すると生産歩留まりが極端に低下する。コンパクトなケースにまとめられたPLCA-800をプロセスに直接設置し微粒子を常時監視することにより、デバイス製造の大幅な歩留まり向上、コストダウンに役立つ。