高精度薬液濃度モニタ CS-340シリーズ

*株式会社堀場製作所

CS-340シリーズは半導体製造プロセスで幅広く使われている各種洗浄薬液の濃度を,高精度・リアルタイムに計測する。本機器をインラインモニタとして導入することにより、安定した洗浄効率の確保と薬液の無駄な交換をなくし洗浄プロセスのランニングコスト削減に大きく貢献する。測定対象は、 SC-1・SC-2・SPM・HF系など超LSIの品質や歩留まり向上に欠かせない各種の洗浄薬液に対応している。