*株式会社コス
最近、半導体プロセスにおける蒸気乾燥工程では純度の高いIPA(isopropyl alcohol)が主に使われている。このたび、コスでは、では水分やイオン性不純物がIPAに混入すると比抵抗が低下する現象を利用して、IPAの純度を監視するIPA比抵抗計“IP−960”を製品化した。本器は、増幅器を内蔵させた交流2極法の検出器を使い、IPAの比抵抗を正確かつ安定に測定することができる。蒸気乾燥装置やIPAリサイクル・システムに直結しIPA純度の連続モニタとして今後の活躍が期待される。