The Trends in Semiconductor Process Control in the Next Generation Devices

Patricia Gabella* | |   技術論文

*SEMI/SEMATECH, U.S.A.

1965年にインテルのDr. Gordon MooreはCPU用トランジスタは2年毎に倍増すると予測した。以来、半導体技術・業界の躍進は目覚しく、最近10年間の成長率は15.7%にもなっている。半導体デバイスの開発サイクルはますます加速されており、National Technology Roadmap for Semiconductors (1997年度版)によると、1994年当時は3年であったが、現在では2年へと短縮されている。このため、材料、プロセス制御、デバイスメ-カ-など半導体に関連する全ての業界で、生産効率の上昇、装置や材料の利用効率の向上、意思決定の迅速化、利潤回収の短期化に絶えず迫られている。「自動車業界が半導体業界なみの技術的進歩を達成できていたなら、1986年の新発売時に販売価格が$10,000であったフォ-ドのタウラスは、現在では$150前後となっていたはずだ」(米国半導体工業会(SIA), 1998より)