全自動超薄膜計測システム UT-300 Part1 システム構成

*株式会社堀場製作所

全自動分光エリプソメータUT-300 は半導体薄膜の膜厚・屈折率・減衰係数を正確に測定・解析できる全自動超薄膜計測システムである。半導体分野における薄膜計測のニーズを背景に開発されたUT-300 は、ますます高度化・多様化する半導体生産ラインに合わせてフレキシブルなシステム構成となっている。ここではシステム構成の概要と特長的な機能を紹介する。