自動液晶セル検査装置 LFP-120MH

*株式会社堀場製作所

パソコン、テレビ、携帯電話と液晶ディスプレイ(LCD)の市場は急速に拡大している。しかし、LCDの生産ラインでは、欠陥やゴミの検査が目視で行われているため、生産性向上のネックとなっている。HORIBAは、株式会社日本マイクロニクス殿と共同で、機械検査と目視検査とを組合せた、自動液晶セル欠陥検査装置 LFP-120MHを新たに開発した。本装置はLCDの大幅な生産性向上に役立つものと期待されいる。本稿では、LFP-120MH開発の背景、検出原理、特性などを紹介する。