薄膜技術を用いた赤外線センサ

*株式会社堀場製作所

近年、Si基板を用いてマイクロマシニング技術を利用した各種のセンサが開発されている。また薄膜化技術の進歩に伴い、機能性セラミックスの薄膜を作製することができるようになってきた。現在、HORIBAはこれらの技術を駆使して新たなセンサを開発中である。本稿では「薄膜パイロセンサ」と「Siサーモパイル」について、動作原理・製作方法とともに高速応答・高感度の優れた特性を紹介する。