薬液用インラインパーティクルセンサ PLCA-800シリーズ

*株式会社堀場製作所

半導体製造プロセスにおける薬液用インラインパーティクルセンサPLCA-800シリーズを製品化した。PLCA-800シリーズは、センサ部・信号処理部・制御部とをそれぞれモジュール化し最大10カ所のインライン測定が可能なコンパクトな設計となっている。さらに、発泡性の薬液も安定して測定できるよう脱泡機能や冷却機能を備えたサンプリングユニットをオプションとし、多様なニーズに即応できる。本稿では開発の背景、優れた性能の実現方法、特長そして用途について紹介する。