*株式会社堀場製作所
インターネットや携帯電話の爆発的な拡大とともに半導体市場が確実に成長しており、これらを支える計測機器メーカに対しても多様で迅速な対応が求められている。HORIBA、エステック、ジョバン・イボン、コス、愛宕物産のHORIBAグループの半導体関連各社は先行するマスフローセンサ、薄膜計測、in-situモニタ、 FPDの4つを中心に置き、市場ニーズに基づき迅速な製品・技術開発を展開している。本稿ではHORIBA半導体グループが今最も力を注いでいる代表的な製品を半導体プロセスの市場・技術動向に対比させながら紹介する。併せて、これら高いレベルの製品を実現するための具体的な製品・技術戦略についても述べる。