PFCs濃度モニタ FT-730G

*株式会社堀場製作所

半導体生産プロセスに使用されているPFCs（Perfluorocompounds）は地球温暖化の促進物質として注目され大気中への排出量を削減しようとする活動が世界的に取り組まれている。フーリエ変換赤外線分光法によるPFCs濃度モニタFT-730Gは、ドライエッチングやプラズマCVD装置から排出されるPFCsを高感度でリアルタイムに計測できる。本稿では半導体生産プロセスにおけるいくつかの実測例と今後の可能性についても述べる。