*1株式会社半導体先端テクノロジーズ、*2株式会社エステック、*3株式会社堀場製作所
中国に世界最強のシリコン・ファウンドリを目指したLSI工場が始動した。世界の半導体デバイスメーカは、1セントでも安い製品を1秒でも速く市場に提供することで生き残りを図っている。一方で、多くの半導体工場では製造プロセスの設備総合利用効率（OEE）は50%にも達していない。この度、（株）半導体先端テクノロジーズ(Selete)の小林秀様をお迎えし、半導体ラインの生産性向上のポイントは何か、計測機器メーカであるHORIBAグループには何が求められ何を提供できるのかについて話し合った。Selete殿が開発中の装置エンジニアリングシステム（EES）、エステックのマスフロー監視システムソフトSEC-F/V、インターネットを経由したリモートメンテナンスなど幅広く話題が展開した。そして、これらの新たな取り組みが成功し成果を挙げるためには、デバイスメーカ・装置メーカそして計測機器メーカの枠を超えた「オープン化」がキーワードであると強く認識した。