新しいエッチングモニタ DIGILEM

*Jobin Yvon S.A.S.

光干渉計が半導体デバイスプロセスにおける強力なエッチング・プロセスモニタとして注目されている。HORIBAグループの1つであるジョバンイボン社のDIGILEMは、レーザ光源・検出器・光照射源及びCCDカメラを小型の計測ヘッドに収めたコンパクトな干渉計で構成されている。本稿ではDIGILEMの特長であるツインビーム方式開発の背景と誘導結合型プラズマ（ICP）法によるシリコンの深い異方性エッチングに関するいくつかの実験結果を紹介する。