DeviceNet™対応のデジタル・マスフローコントローラ SEC-Z10Dシリーズ

*株式会社エステック

(株)エステックはDeviceNet^TM対応のマスフローコントローラSEC-Z10Dシリーズを開発した。半導体デバイスの製造ラインでは、生産性の向上を目指し、導入設備・機器の共通化・オープン化が急務となっている。SEC-Z10DシリーズはODVAが推進中のオープンなフィールド・ネットワーク通信システムであるDeviceNet^TMに基づいて設計されている。本稿ではSEC-Z10Dシリーズの動作原理・特長・DeviceNet^TMへの対応状況などを紹介する。