FTIRガス分析計 FG-100シリーズ

地球温暖化防止のため、各業界でさまざまな取り組みがなされている。液晶・半導体業界では、液晶・半導体製造プロセスで使われるPFCsをはじめとする温室効果ガスの削減が求められている。FG-100シリーズは温室効果ガスを対象に、特にプロセス現場での使用を想定して開発されたコンパクトで高精度なFTIRガス分析計である。