SC-1モニタ CS-131

SC-1溶液（アンモニア過酸化水素水溶液）は半導体製造におけるウエハなどの洗浄工程でパーティクル除去に使われる。SC-1溶液の濃度を許容範囲に保つために薬液各成分の濃度を常時モニタしフィードバック制御を行う必要がある。CS-131はSC-1溶液用の高精度な薬液濃度モニタである。