真空紫外用モノクロメータ

Erick Jourdain* | |   27

*Jobin Yvon S.A.S

ジョバンイボン社(JY)はグレーティングの開発・生産で世界をリードする利点を活かして、シンクロトロン放射光研究施設向けに最も革新的な真空紫外用(VUV)モノクロメータを開発した。このモノクロメータは、究極のグレーティング技術と超精密な真空工学を組み合わせたもので既にいくつかのシンクロトロンセンターに設置され優れた性能を発揮している。また、現在開発が進められている新しい小型VUV光源と周辺機器の開発には、小型のVUVモノクロメータが不可欠である。本稿ではJYの各種VUV用グレーティング、モノクロメータ、分光器に合わせ、極紫外線リソグラフィやX線光電子分光などの用途を目指して開発を進めている小型のモノクロメータについても紹介する。