* 株式会社 堀場製作所
設置・組込型高精度放射温度計IT-480は，ファクトリー・オートメーション及び各種工場の温度管理が必要な現場において，対象物の温度を高精度で測定できることを目的として開発した。本製品は，熱電対や白金測温抵抗体といった従来の接触型温度計と異なり，対象物が放出する放射エネルギーを計測することで，非接触・非破壊で温度測定が可能である。Micro Electro Mechanical Systems（以後はMEMSと表記）技術を用いたサーモパイルセンサー，大気の影響を除去する光学フィルター，温度測定の校正基準となる高精度黒体炉を用いることで，高精度及び高再現性を実現した。本稿では放射温度計の測定原理や特徴を述べ，設置・組込型高精度放射温度計IT-480シリーズを紹介する。