韓国でマスフローコントローラー生産体制を強化

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ハイエンドモデルの現地生産により、さらなるシェア拡大をめざす

HORIBAグループで半導体事業を手掛ける株式会社堀場エステックのグループ会社で、韓国での同事業を担う堀場エステック・コリア社は、主力製品であるマスフローコントローラーの生産体制を強化します。
今回現地生産するのはハイエンドモデルの圧力式マスフローコントローラー「D500シリーズ」で、2021年6月からの量産開始を予定しています。また年内には、既に現地生産しているモデルとあわせて、月産1,000台レベルの生産体制確立をめざします。
マスフローコントローラー市場で約60%(2019年12月時点、自社調べ)の世界シェアを持つHORIBAグループでは、今後もグローバルレベルでの供給力強化を推し進め、さらなるシェア拡大に取り組みます。
  

生産体制強化の背景

新型コロナウイルスの感染拡大によるリモートワークの増加や5G技術への投資加速などにより、足元の半導体需要は活況を呈しています。また韓国においては、世界を代表する半導体メーカーの存在に加え、現地の半導体製造装置メーカーも近年台頭しており、市場規模が拡大しています。
2017年5月に新拠点を開設した堀場エステック・コリア社では、生産技術の高度化に向けたこれまでの取り組みが結実し、ハイエンドモデルである「D500シリーズ」の現地生産が可能となりました。このような状況下で、よりタイムリーな製品供給を通じてお客様のニーズに応え、さらなる事業成長を果たすため、この度の生産体制強化を決断しました。
 

堀場エステック・コリア社について

ソウル市から南に約40キロ離れたIT関連の企業集合地域、龍仁(ヨンイン)市に位置しています。マスフローコントローラーの生産・販売に加え、2019年12月に開設したR&Dセンターでは、お客様の要望に応じたアプリケーション開発も行っています。
 

圧力式マスフローコントローラー「D500シリーズ」について

半導体製造プロセスにおいて、ガス供給ラインの精密制御を行うマスフローコントローラーは、成膜やエッチングといったプロセスで使われる半導体製造装置のコンポーネントとして重要な役割を果たしています。「D500シリーズ」は、供給するガスの圧力差を検知した流量コントロールにより、高精度・高速応答を実現するハイエンドモデルのマスフローコントローラーです。近年のメモリICやロジックICにおける多層化、微細化の進展を背景としたお客様からの高い要求水準に応え、半導体産業に貢献しています。

堀場エステック・コリア社
圧力式マスフローコントローラー「D500シリーズ」