压力不敏感型高性能质量流量控制器D500
概要
尖端的压力不敏感型高性能质量流量控制器: D500
高稳定性质量流量模块——气体流量控制不受上游和下游压力波动差影响、PI（压力不敏感型）质量流量模块
特征
- 压力不敏感性
高性能的压力不敏感型功能可有效简化气体供应系统
- 多量程,多气体,多种压力的解决方案
新功能允许用户改变气体种类、满量程内的流量,供应压力范围
- G-LIFE 自我检测功能(气体定律检查集流节流方程)
先进G-Life功能允许操作人员进行流量计自我监测,通常会在三秒内提高生产能力
- 高精度
先进的三维调节已改进工艺气体的流量精度
- 快速响应
响应速度＜0.8秒
已实现精准且稳定的流量控制
- 动态范围
控制范围：0.2% F.S. ~ 100% F.S.
制造: HORIBA STEC