工业炉
HORIBA作为世界上最大的质量流量控制器生产商之一，在真空热炉行业拥有丰富的经验。
HORIBA的流量控制器控制范围非常广，从几毫升到几百升。
HORIBA的质量流量控制器可高精度、高重复性控制流量，同时多种气体与多种量程的特性可有效减少现场库存的备货量。
真空热炉工业需要高精度高稳定的气体供应，针对这点，我们的质量流量控制器可实现控制不同气体，比如：N2、H2、He、Ar等。这些气体的主要使用目的是为了抗氧化以及维持温度控制。
针对防止材料表面氧化而添加水分的应用，HORIBA的汽化装置及液体流量计是理想的选择。
HORIBA有多种不同类型的汽化系统可应对大量不同的液体材料已适应不同的工艺条件。
质量流量控制器可精确控制流量比如真空碳化中的乙烯、氢气。
另外，使用D电容压力计VG-200系列监测火炉的排出压力可均匀碳化过程，有助于实现更高的产能。
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针对多种工业。多种通讯方式，数字式/模拟式，DeviceNet™, CC-Link®, PROFIBUS™以及EtherCAT®。大范围控制从10SCCM到1000SLM，全金属
HORIBA荣获液体传输系列大奖（FDM系列），此奖项表彰于HORIBA在扩散工艺中成功开发了POCL3自动传输系统，实现POCL3传输特制塑料鼓泡装置内。
FDM和VM系统适用于硅基电池片的扩散制程，同样可以用于BBr3的扩散制程，减少运输和人力成本，提高安全性。
