DeltaPsi2软件

功能齐全的椭圆偏振光谱软件

DeltaPsi2是一款集成化软件平台,用于HORIBA整个系列椭偏仪和反射仪的薄膜测试分析。

事业部: 科学仪器
产品分类: 椭圆偏振光谱仪
制造商: HORIBA France SAS

DeltaPsi2是一个完整的椭偏分析软件包,提供先进的数据测试、建模和报告生产功能。还包含了许多功能用于准确灵活的表针薄膜材料的结构和光学常数。

软件发布于2016年三月

  • 数据库更新(介质材料和金属的色散函数及标样)
  • 发布动态方案,便于实时数据显示
  • Auto-Soft软件
  • 多波长系统提高了超快速成像

 

DeltaPsi2的兼容性

DeltaPsi2可以通过ASCII文件将其它椭偏数据导入并支持建模和报告。

提高您现有的建模能力或需要薄膜分析软件?

DeltaPsi2软件是您成功的不二选择

DeltaPsi2软件具有灵活的测量能力,包括:                                  

  •  反射/透射椭偏测试
  • 穆勒矩阵
  • 退偏
  • 反射仪
  • 透射和反射数据
  • 动态测试
  • 散射测量
  • 变角度测量

椭偏仪分析的全部性能

DeltaPsi2软件包括大量的高级建模功能,以提供广泛应用所需的多种功能和性能。

  • 数据库完备:基于色散函数和书本中参考值。
  • 粗糙度或界面(EMA)
  • 合金成分
  • 锗硅结晶度
  • 梯度光学常数
  • 各向异性结构
  • 相关联层
  • 周期结构(一维、二维光栅)
  • 带隙计算
  • 自动背反射校正
  • 超薄膜分析(BLMC)
  • 新的脚本生成新的后计算参数

利用先进的建模功能,多种设计的建模特点,提供准确的建模过程,从而找到合适的解决方案。

  • 先进的数学拟合算法
  • 折射率和消光系数(n, k)
  • 多组合测量/分析数据
  • 光谱分辨率
  • 薄膜不均匀性

灵活准确的处理您的结果

DeltaPsi2软件提供了先进的功能,可以简单可靠地处理椭偏仪测量数据。

  • 定制化用户界面
  • 数据处理
  • 图形操作屏幕的先进功能
  • 标准Windows®剪贴板传输
  • 导入/导出包功能
  • 自动生成报告
  • 建模后输出自动计算的特定值描述
  • 在线帮助功能

用户友好的操作

设计了三种用户模式(研究,制造和质量控制)便于操作。

  • 研究模式可自主修改模型、材料函数公式、数据采集等
  • 制造模式为一键式操作,全自动化的分析序列:采集+建模+成像+结果。
  • 质量控制模式,新的Auto software软件包,操作简单易学

 

简单的全自动流程

  • 全自动化的数据采集+建模+成像+结果,有利于常规薄膜分析。
  • 统计分析
  • 半导体晶圆和玻璃面板上成像结果的可视化
  • 自动聚焦和模式识别
  • 先进的通信协议(RS232, TCP/IP)

 

留言咨询

如您有任何疑问,请在此留下详细需求信息,我们将竭诚为您服务。

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