VG 系列

电容压力计

VG 系列电容式压力计尺寸紧凑，采用全金属设计，可选配自动温度调节功能。

事业部: 半导体

产品分类: 干法制程控制

制造商: HORIBA STEC, Co., Ltd.

紧凑型自加热设计
电极结构带来高性能和高稳定性
镍合金隔膜具有良好的耐腐蚀性
设定点输出（2 点）
警报输出
通过专用软件调整量程
一键归零
电源要求 +/-15V 直流电或 24V 直流电
符合 CE 认证标准和 RoHS 标准

技术论文

电容薄膜真空计研发 (1.3MB)

摘要
"在用于制造发光二极管、半导体、平板显示器和太阳能电池的沉积制程或蚀刻制程中使用了各种气体，而制程压力对产品质量影响巨大，因此需要具备良好耐腐蚀性、无气体依赖性和高精度的真空计。为满足这些要求，HORIBA STEC 研发了电容薄膜真空计“VG-200 系列”，性能评估结果显示其具备出色的重现性和长期稳定性。本文将描述下 VG-200 系列产品的特性和性能评估结果。"

Model		VG-200
Full Scale Range	133.32Pa	1.3332kPa/13.332kPa/133.32kPa
Sensor Controled Temperature	55°C/100°C
Accuracy Including non-linearity, hysteresis, non-repeatability *	0.5%R.S.	0.25%R.S.
Resolution	0.03%F.S	0.01%F.S
Zero Temp. Coefficient	0.005%F.S./°C	0.0025%F.S./°C
Span Temp. Coefficient	0.03%R.S./°C	0.02%R.S./°C
Operating Temperature	10°C to 45°C(55°C),10°C to 50°C(100°C)
Response time	<60msec
Warm Up time	60min(55°C),120min(100°C)
Proof Pressure	350kPa(A)
Output	Analog 0-10V, load resistance: 10kΩ or more
Supply Voltage	±15VDC ±5% or 24VDC±5% @0.6Amax
Setpoint	Contact form: 1a,1b, Number of setpoint: 2 Current charge capacity: 0.1A @30VDC

* Including non-linearity, hysteresis, non-repeatability at 25℃ ambient temperature after 2hours operation.

Type / Specification

	1. Full scale	2. Heater set temperature	3. Fitting
VG-221	10T：133.32Pa (1Torr) 11T : 1.3332kPa(10Torr) 12T : 13.332kPa(100Torr) 13T : 133.32kPa(1000Torr)	055 : 55°C 100 : 100°C	KF16 : KF16 8CR : 1/2VCR-F CF34 : ICF34

1. Full scale

2. Heater set temperature

3. Fitting

VG-221

10T：133.32Pa
(1Torr)

11T : 1.3332kPa(10Torr)

12T : 13.332kPa(100Torr)

13T : 133.32kPa(1000Torr)

055 : 55°C
100 : 100°C

KF16 : KF16
8CR : 1/2VCR-F
CF34 : ICF34

● Please choose full scale,heater set temperature and fitting. ● Please contact us If you need alarm initial setting.

External Dimension