Fluid Control

流体制御技術

100msecの高速応答と低流量での高精度を実現したマスフローモジュール

ワイドレンジ制御と低流量での高精度を実現したマスフローモジュール

ガスパネルをコンパクトにする10mm幅の超コンパクトマスフローモジュール

半導体製造プロセスにて、チャンバーに導入するプロセスガスを任意の比率に分配

チャンバー内でウェハの温度制御に用いるガスの圧力制御を高精度に行う、ウェハ裏面圧力制御システム

最適な気化システムを総合的にご提案

シリコン・化合物の半導体材料分析ソリューションを数多く提案