Fluid Control

ガス流量制御による装置間のばらつきを削減し、歩留まりを向上させたい。

[新製品]デジタルマスフローモジュール CRITERION D700MG

100msecの高速応答と低流量での高精度を実現したマスフローモジュール

[新製品]デジタルマスフローモジュール CRITERION D700WR

ワイドレンジ制御と低流量での高精度を実現したマスフローモジュール

超薄型差圧式マスフローモジュール CRITERION DZ-100 Series

ガスパネルをコンパクトにする10mm幅の超コンパクトマスフローモジュール

サーマルフロースプリッタ FS-3000 Series

半導体製造プロセスにて、チャンバーに導入するプロセスガスを任意の比率に分配

オートプレッシャレギュレータ GR-511F

チャンバー内でウェハの温度制御に用いるガスの圧力制御を高精度に行う、ウェハ裏面圧力制御システム

液体材料気化システム

最適な気化システムを総合的にご提案

総合カタログ

Answer to Semiconductor

シリコン・化合物の半導体材料分析ソリューションを数多く提案